Парофазная очистка — это процесс очистки, в котором используются пары растворителя для удаления остатков флюса, масел, частиц и других загрязнений с поверхности компонентов. Растворитель нагревается до образования пара, и этот пар конденсируется на более холодной поверхности очищаемых деталей. В процессе конденсации растворитель растворяет загрязнения и удаляет их с поверхности детали.

По сравнению с традиционной водной очисткой, парофазная очистка особенно подходит для безводных процессов очистки и для изделий с узкими зазорами, сложной геометрией и малым монтажным зазором. Она широко используется в микроэлектронной сборке, при очистке микроволновых компонентов и в других процессах, где требуются высокая чистота и низкий уровень остаточных загрязнений.